深冷水汽捕集泵
COOL2000H
COOL3000H
COOL4000H
在真空腔體內，水汽分子是典型的環境污染氣體，占腔內殘余氣體 65% 到 95% ，當真空度達到 10E-2Pa時，水汽分子用平常真空泵難排出腔體，是典型的具副作用的污染氣體，是工件的污染源，從而使產品的產量和質量受到影響。為了快速的達到較高的真空度，COOL系列水汽深冷泵快速捕集和吸附真空腔內的水汽，輔助抽真空，在極短的時間達到需求的真空度
COOL系列水汽深冷捕集泵工作原理將一個冷阱盤管或擋板，放置在真空室內的腔壁上或油擴散泵的泵口，通過制冷盤管表面，實現低溫冷凝效應，迅速捕集集真空泵統的水汽分子或其它殘余氣體分子，從而獲得潔凈的真空環境，提高產品的產量和質量，改善鍍膜的品質，提高薄膜的附著力和多層鍍膜能力。
COOL系列水汽深冷捕集泵有單級和雙級的配置，雙級制冷可單獨控制每一路的制冷，兩路冷阱盤管或擋板都能被快速除霜。
特點
水汽抽速366000L/s
快速捕集水汽、油蒸汽；抽真空時間可縮短75%
溫度可達到-120℃至-150℃
產品吞吐量的20%上升到100%
在成本/性能上優于液氮制冷
制冷量可達4000W
環保型混合冷媒滿足所有適用地區的環境要求（京都國際協議）。
自動化控制，支持遠程通訊
高清觸摸屏，方便操作的面板控制
雙級制冷回路配置
應用
替代液氮的經濟性選擇
在光學鍍膜、卷繞鍍膜等各種功能鍍膜或裝飾鍍膜系統，可以用于真空室內抽吸水汽，以獲得更好的薄膜質量
用于冷阱等冷卻裝置防止擴散泵返油
化學工程，液化工藝氣體
系統
除了COOL設備單元外，還提供以下關鍵組件，如有需要，可以按照您的規格制造:
冷阱盤管和擋板
冷阱盤管一般安裝在真空腔室內，或高閥與真空室之間，適用于鍍膜材料放氣量較大的場合．冷阱盤管同時具有除霜功能，使冷阱盤管在每次開門之前恢復到常溫，有利于下次抽真空。
冷阱擋板一般安裝在擴散泵上方，主要功能是防止油擴散泵的油氣返流，同時也可以抽除水汽，提高真空度。
饋通件
（可單獨提供或作為冷阱盤管的一部分）
雙通道在保持給入管和返回管之間的熱隔離的同時，提供了進入真空腔的法蘭。在外部，管接頭與制冷劑管路可直接連接。在腔室側，饋通和內部冷阱管道焊接在一起。
制冷劑管路
“制冷劑管”包括一條給入管和一條返回管，該管帶有不銹鋼管接頭（Parker或VCR），可與COOL System和饋通件配合使用。制冷劑管采用泡沫型保溫層絕熱保護，防止暴露在戶外空氣中，以減少熱量損失。
水汽壓強表
有效地捕捉水蒸氣的適宜溫度是多少?
要找到適合您的真空系統的低溫表面溫度，請找到下面列出的系統的基本壓力。然后繼續到顯示所需低溫表面溫度的右欄。這個溫度表示90%的水蒸氣捕獲效率。
壓力 Torr | 溫度 ℃ | 壓力 Torr | 溫度 ℃ |
5×100 | -25.4 | 5×10-5 | -104.9 |
2×100 | -34.4 | 2×10-5 | -109.1 |
1×100 | -40.8 | 1×10-5 | -112.2 |
5×10-1 | -46.8 | 5×10-6 | -115.1 |
2×10-1 | -54.3 | 2×10-6 | -118.1 |
1×10-1 | -59.7 | 1×10-6 | -121.5 |
5×10-2 | -64.8 | 5×10-7 | -124.1 |
2×10-2 | -71.2 | 2×10-7 | -127.5 |
1×10-2 | -75.8 | 1×10-7 | -129.9 |
5×10-3 | -80.1 | 5×10-8 | -132.2 |
2×10-3 | -85.6 | 2×10-8 | -135.2 |
1×10-3 | -89.6 | 1×10-8 | -137.3 |
5×10-4 | -93.4 | 5×10-9 | -139.5 |
2×10-4 | -98.2 | 2×10-9 | -142.1 |
1×10-4 | -101.6 | 1×10-9 | -144.1 |
Cool System 抽氣速度和壓力的關系
冷阱低溫表面平均溫度與外加熱負荷的函數關系
技術規格
| 型號 | COOL2000H | COOL3000H | COOL4000H |
制冷量（W） | 2700 | 3500 | 4400 |
理論抽速（L/S） | 228000 | 295000 | 366000 |
腔體內理論抽速（L/S） | 154000 | 198000 | 242000 |
極限真空度（Torr） | 2×10-8 | 2×10-8 | 2×10-8 |
預制冷時間 | ＜30Min | ＜30Min | ＜30Min |
冷卻時間 | ≤4Min | ≤5Min | ≤6Min |
除霜時間 | ≤5Min | ≤6Min | ≤7Min |
冷阱管表面積 ㎡ | 1 | 1.6 | 2.4 |
冷卻要求 | 水冷,18-32℃,2-4bar | ||
冷卻水流量要求（L/min） | ＞20 | ＞28 | ＞35 |
冷卻水接口 | G3/4 | G3/4 | G3/4 |
制冷劑 | 環?；旌闲屠涿?/p> | ||
控制系統 | PLC+觸摸界面 | ||
電源要求 | 380-400V, AC , 3PH, 50/60Hz | ||
功率 | 10Kw | 13Kw | 15Kw |
配套附件
冷阱盤管 | 冷阱擋板 | 饋通 | 制冷劑管 |
*可定制不同形狀和尺寸 |
*可定制不同尺寸 |
*可選Parker和VCR接頭,規格：1寸或2寸 |
*標準長度2.45米，可定制長度 |
冷媒 | 冷水機 | ||
*根據設備型號,兼容Polycold設備 |
*根據設備配置，同時兼容其他水冷設備 | ||
